USHIO牛尾 UXM-501MD 超高壓水銀燈
· 適合曝光制程的紫外線(xiàn)波長(zhǎng)
· 在紫外線(xiàn)波長(zhǎng)中，USHIO的超高壓水銀燈仍可有效運(yùn)用3線(xiàn)（436nm?405nm?365nm)波長(zhǎng),
· 是長(zhǎng)效型、且具有穩(wěn)定放射照度的高亮度光源。
· 發(fā)揮光學(xué)系性能的點(diǎn)狀光源
· 弧形大小極接近點(diǎn)狀光源，易于集中與擴(kuò)散光學(xué)系統(tǒng)上的光，因此可以得到均勻的照度分布。
· 配合半導(dǎo)體、液晶?彩色濾光片?PDP以及印刷基板用線(xiàn)路成形等各種用途的燈輸出
· 因應(yīng)回路與類(lèi)型燒付照度需求的提高、
· 小型（100w級(jí)）～超大型（35kw級(jí)）為止、適用各尺寸的燈具。
· 主要用途
半導(dǎo)體回路形成用光源
液晶回路形成用光源
彩色濾光片回路形成用光源
電漿顯示器回路形成用光源
印刷電路板回路形成用光源
MEMS回路形成用光源
檢查用光源
其他新的曝光用途等
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